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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
詳情介紹:
用于
IPA、純水和化學品等半導體制造過程中微小區(qū)域的流量控制 ? *小流量測量從 1 ml/min 開始 ?通過數(shù)字信號處理高精度測量微小流量 ?傳感器部分具有與流體
的非接觸式結(jié)構(gòu) ?范圍廣的能力
IPA、純水和化學品等半導體制造過程中微小區(qū)域的流量控制 ? *小流量測量從 1 ml/min 開始 ?通過數(shù)字信號處理高精度測量微小流量 ?傳感器部分具有與流體
的非接觸式結(jié)構(gòu) ?范圍廣的能力
產(chǎn)品規(guī)格
■微型液體流量計(傳感器分離型)
μLF-300S
型 | μLF-300S + μLT-8I (1/8 英寸) 或 μLF-300S + μLT-4I (1/4 英寸) |
測量原理 | 超聲波傳播時差法 |
被測液體 |
純水,水溶液,各種化學溶液 *請?zhí)崆皺z查水以外的液體。 |
自適應流體溫度范圍 |
在15°C~80°C*60°C 或更高溫度下使用時,請?zhí)崆按_認。 |
流體壓力 | 0.5MPa以下 |
流體運動粘度 | 100毫米^2/秒以下 |
流量范圍 |
0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) |
測量精度 |
±0.5%RD(1/8英寸:200~1000毫升/分鐘條件:室溫,恒溫水)±1毫升/分鐘(1/8英寸:0~199毫升/分鐘) ±0.5%RD(1/4英寸:800~4000毫升/分鐘條件:室溫,恒溫水) ±4毫升/分鐘(1/4英寸:0~ 799毫升/分鐘) |
重復性 | ±0.2%(純凈,液體溫度±0.5°C,30秒平均值) |
權(quán)力 | 直流 24V ±10% |
功耗 | 3.6W以下 |
重量 | 發(fā)射器 240g,探測器 70g |
尺寸寬x高x深(毫米) |
發(fā)射器 97 x 49 x 127 探測器 90 x 25 x 20 (不含管) |
探測器 | |
管材 | PFA(含氟聚合物) |
管徑 | 1/8 英寸外徑:3.17 毫米,內(nèi)徑:2.17 毫米,1/4 英寸外徑:6.35 毫米,內(nèi)徑:4.35 毫米 |
結(jié)構(gòu) | 相當于 IP65 |
隨附的電纜 | 5m,連接器連接 |
輸入部分 | |
數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422,4 線 RS-485 |
模擬輸出 | 4-20mA (瞬時流量),負載電阻500Ω以下 |
集成脈沖輸出 | 1通道(集電極開路) |
アラーム出力 | 1ch (オープンコレクタ) |
接點入力 | 1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア) |
キー入力 | 4入力ボタン |
■微少液體流量計(一體型)
μLF-300
変換器 | |
型式 | μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch) |
測定原理 | 超音波伝播時間差方式 |
被測定液體 |
純水、水溶液、各種薬液 * 水以外の液體の場合は事前にご確認ください |
適応流體溫度範囲 |
10℃~60℃ * 60℃以上の場合は事前にご確認ください |
環(huán)境溫度範囲 | 溫度:0℃~50℃(結(jié)露がないこと) |
流量範囲 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-308I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-304I) |
測定精度 |
±1%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min, 室溫, 水の場合) ±2ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) ±1%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min, 室溫, 水の場合) ±8ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min) |
繰返し性 | ±0.2% (液溫±0.5℃, 30秒平均値) |
応答性 | 10 msec |
構(gòu)造 | 屋內(nèi)仕様 (IP65相當) |
電源 | DC 5V ±10% |
消費電力 | 1.5W以下 |
重量 | 350g(**主機) |
探測器 | |
管材 | PFA(含氟聚合物) |
管徑 |
1/8英寸外徑:3.17毫米,內(nèi)徑:2.17毫米 1/4英寸外徑:6.35毫米,內(nèi)徑:4.35毫米 |
輸出部分 | |
串行 | 4線RS-422 |
通信協(xié)議 | 固定數(shù)據(jù)位 8 位,固定偶數(shù)奇偶校驗,固定停止位 1 位 |
波特率 | 38400波特 |
串行輸出內(nèi)容 | 瞬時流量值、積分流量值、錯誤代碼 |